技术编号：3360910
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在大的供给速度范围内将小粒径粉末材料计量供给到蒸发设备。 背景技术需要每秒能够准确且精确地连续计量少量(例如1到9微克)的粉末材料。电子工业需要将少量粒料计量供给到用于直接气相沉积或用于化学气相沉积(CVD)中的前体的蒸发区。还需要每秒能够准确且精确地计量三个数量级以上(例如1000微克)的材料量。在许多系统中，能够利用同一设备在1微克到1000微克的范围内计量粉末材料将会是有利的。有机发光二极管器件(OLED)例如具有发光层，该发光层通常含有沉...
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