技术编号:3361221
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于薄膜材料制备领域,具体涉及一种超细晶金属或合金薄膜材料及其制备方法。背景技术在光电子和半导体领域,金属或合金薄膜具有广泛的应用价值,例如可以用作电极材料、用于制备灰度掩模或在对特定金属薄膜的热氧化处理后制备成透明导电膜等。由于这种金属或合金薄膜的晶粒尺寸直接影响到其应用,研究人员一直致力于降低薄膜的晶粒度,参见S. Hishita et al. , Thin solidfilms, 464, 146 (2004)。然而,目前仍无法制备出超细晶的且...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。