技术编号:3361895
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种镓掺杂氧化锌溅射靶材及其透明导电膜的制备方法,属于光电子功能材料。背景技术透明导电氧化物(transparent conductive oxide,简称TC0)对可见光具有很高的透过率,而对红外光具有很高的反射率,同时具有优良的导电性能,因此被广泛应用于太阳能电池、发光二极管、平板和液晶显示、各种热反射镜以及各种交通工具的防雾除霜窗玻璃等领域。锡掺杂氧化铟andium Tin Oxide,简称ΙΤ0)是目前应用最为广泛的透明导膜, 但是作为主...
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