技术编号：3362475
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及供应气体至一等离子腔，特别是涉及将在等离子腔内支撑一气体分布 板。背景技术平板显示器使用电子装置，如绝缘体、导体的有源矩阵和薄膜晶体管(TFT)，来生 产用于各种如电视监视器，个人数字助理(PDA)、移动电话，及计算机屏幕等装置上的平面 屏幕。一般，这些平板显示器是用两片薄的玻璃板，一聚合物材料，或其它适合的基板材料 所制成的。液晶材料层或一金属接点的矩阵，一半导体有源层，及一电介质层通过一系列连 续的步骤被沉积沉积且被夹在两片薄板之间，这两片薄...
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