技术编号：3362818
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空器件，是。 背景技术行波管是一种微波电真空器件，具有高可靠、宽频带、高效率的特点。在电子对抗、 雷达、卫星通信等领域有着广泛的应用。作为真空电子器件，多年来一直受到半导体器件的极大挑战和威胁，尤其在中小功率方面为甚。但是，在大功率、尤其是超大功率领域，真空电子器件至今仍具有极其显著的优势。热解石墨的沉积是在高温、真空条件下进行的化学气相沉积反应，当碳氢化合物气体(CH4，C3H8，CnHm)和稀释气体(N2，Ar，H2)按一定的比例混合进入加...
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