技术编号:3362966
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于提供真空环境的真空腔体领域,特别涉及一种通过旋转能对真空 腔体的观察窗进行遮挡或敞开的观察窗挡板机构。背景技术由于器件结构和简单的制造工艺简单以及图像质量好,有机发光显示器己被视为 继当前占统治地位的液晶显示器或等离子显示器之后的新一代平板显示器。制造小分子有 机发光显示器的生产系统大体上由蒸发系统和封装系统等组成,特别是多层膜的热蒸发系 统是重要的和关键的部分。该热蒸发系统包括一真空腔体,热蒸发过程是在该真空腔体内 完成的。而该真空腔体上通...
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