技术编号:3363098
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微小型零件制造方法,特别是一种基于表面涂覆的微小型零件集 成制造方法。背景技术随着航空航天、国防工业、精密仪器、医学和生物工程技术的发展,微小型零件制 造技术作为先进制造技术的重要发展方向,越来越多的受到各国学者的关注,与此同时,微 小型零件由于其体积小,重量轻,耗能小、惯性低等优势,应用也变得越来越广泛。现今,微小型零件制造主要有两种方法。一种是较为成熟的以硅微工艺和LIGA 技术为代表的微电子技术,即MEMS技术,另一种方法主要是以传统精...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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