技术编号:3363331
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对用于进行磨光、研磨、抛光等的加工工具的加工表面进行修整的修整工具、修整装置、修整方法,具有这种修整工具或修整装置的加工装置,以及半导体器件制造方法。背景技术 由于加工工具的加工表面的堵塞随着加工时间的增加而逐渐加剧,所以进行磨光、研磨或抛光等的加工工具会损坏。因此,通过定期修整来维护这种加工工具,从而可以一直进行良好的加工。例如,这种加工工具包括磨光垫,它用于在半导体晶片制造过程中在晶片表面上形成的电路元件薄膜等上进行磨光的化学机械磨光装置(C...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。