技术编号:3363376
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于蒸镀的蒸发设备。 背景技术有机电致发光器件(OLED)目前广泛运用的结构为多层次的有机膜,分别作为 电子空穴传输及发光层。其外部并为透明电极氧化铟锡(ITO)作为阳极,与另一金属 阴极形成三明治结构,将有机材料包夹于两电极中。量产的过程中首先是常是以溅镀 方式将氧化铟锡(ITO)沉积于玻璃基板,而后以氧气等离子体处理其表面,如此做法可 提高氧化铟锡(ITO)的功函数使元件运作时空穴更容易注入有机层,可降低操作电压, 并提高元件发光效率。完成阳...
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