技术编号:3363422
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体加工,特别涉及一种用于晶片加工机台的防呆计时报警方法和装置。背景技术在半导体制程中,美国N0VELLUS公司生产的化学研磨机台IPEC776在晶片加工过程中,由于机台软件故障较多易造成机台程序紊乱,进而导致机台无动作,且该机台无防呆报警装置,存在设计上的缺陷。这样带来的危害有⑴处于机台研磨头下及清洗装置中的产品晶片(wafer)长时间被研磨液等化学品腐蚀而导致报废;(2)机台停止生产而不被察觉,导致生产中断影响生产进度。发明内容本发明提供一...
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