技术编号：3363428
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是一种卧式真空镀膜机自动装、卸片机构。 背景技术真空镀膜工艺过程中，基片清洗后，采用基片架承载，运送至真空镀膜箱中镀膜， 镀膜结束后，基片也需要从基片架上卸片。业内传统的方法是由人工进行上、卸片，不仅操 作人员劳动强度大，生产效率低下，而且无法避免手工操作对玻璃基片的污染甚至损坏，影 响基片镀膜后膜层质量。发明内容本发明的目的在于克服现有技术之不足而提供一种结构简单、运行可靠、自动化 程度高、自动精确装载及卸载基片的卧式真空镀膜机自动装、卸片机构。本...
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