技术编号:3363842
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于提供含Au层到工件表面上的方法和系统。 背景技术例如离子束和电子束等带电粒子束用于加工工件(采用纳米技术),因为带电粒 子束可以形成非常小的束斑。例如,聚焦离子束系统能够用亚微米精度成像、切削、沉积和 分析。聚焦离子束系统是商业上可获得的,例如从本申请的受让人0regOn,HillbOrO的FEI 公司。离子可以用于从工件溅射(即物理喷射)材料以在工件中产生特征,例如沟槽等。聚 焦离子束常常用在半导体工业中。在一个应用中,例如聚焦离子束用于在...
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