技术编号:3363928
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及通过在诸如基板之类的沉积目标上同时沉积多种蒸发材料而形成薄 膜的真空气相沉积设备。背景技术真空气相沉积设备为用于以如下方式形成薄膜的设备。首先,沉积目标和包含蒸 发材料的蒸发容器放置在该设备的真空室内部。随后,当真空室的内部减压时,蒸发容器被 加热以熔化并通过蒸发或升华作用蒸发所述蒸发材料。蒸发的材料随后沉积在沉积目标的 表面上,由此形成薄膜。作为加热蒸发容器的方法,真空气相沉积设备采用诸如外部加热方 法之类的方法,外部加热方法采用外部加热装置加...
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