技术编号：3363931
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种蒸镀机。 背景技术目前使用的蒸镀机主要是透过电子束将膜料蒸发，使材料沉积于被镀物上。而镀膜过程中会有以下的情形发生(1)当电子束持续对膜料进行蒸镀，坩锅在蒸镀腔内的位置固定不变，坩锅内的膜料相对镀膜伞架的高度会越来越低，造成蒸镀的时间越长电子束的能量需要越大，才能维持相同的镀率，因此，需额外设置一电子束功率控制器对电子束发射电子的功率进行控制；( 当膜料在坩锅内的高度越来越低时，电子束可能没有足够的能量使所述膜料进行蒸发。也即，越下面的膜料越...
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