技术编号：3364034
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及化学机械抛光设备，特别涉及一种抛光垫修整头。 背景技术化学机械抛光设备中，抛光垫在使用一段时间后，随着自身的磨损以及磨屑对抛 光垫表面微孔的填充，抛光垫表面变得平滑，形成釉化层，使抛光垫存储、输送磨料的能力 降低，导致材料去除率和抛光表面质量下降。通过修整头上金刚石盘对抛光垫进行适当的 修整，可去除釉化层以及抛光垫上的磨屑，提高抛光垫粗糙度及其使用寿命，降低成本，保 证抛光一致性。修整头带动金刚石盘下压与抛光垫接触，并带动金刚石盘旋转，金刚石盘在...
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