技术编号:3364187
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的一方面涉及一种用于沉积装置的罐(canister)以及一种利用该罐的沉 积装置和方法,更具体而言,涉及一种用于沉积装置的罐,其能够在类似于原子层沉积一样 将原料沉积在基板上的期间保持包含在反应气体(reactive gas)中的原料的量,并涉及一 种利用该罐的沉积装置和方法。背景技术由于平板显示设备重量轻并且薄,因此平板显示设备用于替代阴极射线管显示设 备。平板显示设备的示例包括液晶显示(IXD)设备和有机发光二极管(OLED)显示设备。在 这些显...
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