技术编号:3364535
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于大规模生产有机场致发光器件的设备,尤其是涉及一种用于制造有机场致发光器件中的多层薄膜的设备,使得衬底或者具有相互成一体的衬底与掩模的组件在一个衬底运送腔室内进行运送,并且允许在若干处理腔室中同时执行衬底装载和清洁、掩模固附和对准、气相沉积以及衬底卸载工艺。背景技术 在制造半导体器件或者发光器件的情况下,通常需要由许多制造步骤组成的工艺。为了执行多步骤制造工艺,通常构造用于相应工艺的多个腔室,并且衬底被运送至这些腔室内来经受各种相互不同的工...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。