技术编号:3364597
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是一种离子注入机的定向台用的滑动和旋转轴密封组件,涉及离子注入机,属于半导体制造领域。背景技术在200mm或更大尺寸的晶片的工艺中,90nm及其更高的65nm制程的离子注入工艺中,针对注入时晶片圆周方向角度变化工艺种类工艺要求倾斜角度“magic” 7°,靶台旋转角度22° 45°,必须重点研究离子束注入晶片内沟道时的角度的精确度;在三阱隔离掺杂注入工艺中,围绕沟道轴(channeling axis)的小角度变化要求解决的注入重复性问题;在四方位注入...
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