一种制作复合半导体薄膜材料的方法技术资料下载

技术编号:3364669

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本发明涉及表面波气体传感器,特别是,用于在常温下实现声面波气体传感器对低浓度H2S气体的检测。背景技术随着社会的进步,安全意识深入人心,人们也越来越关注环境问题。瓦斯爆炸、装修污染、毒气泄漏等等危险在时时危害人身安全,然而传统的气体传感器均为大型设备,体积大,便利性差,给随时随地检测环境造成困难。手持式SAW气体传感器体积小,重量轻,便于携带,其中敏感膜部分是传感器的核心环节,所以敏感膜的选取与制作成为了传感器灵敏度与选择性能的关键部分。目前用于检测H2S...
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