技术编号:3364928
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于在衬底表面形成由多层组成的膜的薄膜形成装置和一种制造光学元件的方法,其中该光学元件有一个衬底和一个由形成在该衬底表面上的多层组成的光学薄膜。背景技术 在诸如滤光片、透镜和反射镜的光学元件中,通常在这种光学元件的表面上形成由多层组成的光学薄膜,目的在于把各个波长处的透射率和反射率调节到特定的特性,把在各个波长处的相位特性调节到特定的特性,或提供抗反射特性。这种薄膜中的层数可以达到几十层,并且可以通过控制构成此光学薄膜的各个层的厚度来获得特定...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。