技术编号:3365170
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于金刚石膜的高速抛光技术,特别涉及金刚石膜高速及超高速精密抛光技术。背景技术目前,金刚石膜热化学抛光时所使用的抛光盘多为单盘结构,抛光盘磨损后需要整体更换;而且在进行高速及超高速抛光时,需要进行严格的动平衡,动平衡调整麻烦。若使用铸铁等材料作为抛光盘,由于其质量大,高速旋转时的惯性力可能会使抛光盘破裂而发生危险。发明内容本发明的目的是为了解决金刚石膜超高速抛光时动平衡调整、抛光盘更换及抛光盘破裂的技术问题,提供一种结构简单、转动惯量小、动平衡调整方...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。