技术编号：3365452
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种适合生产功能膜的。技术背景包括气障膜、保护膜和诸如滤光片和增透膜之类的光学膜的各种功能膜(功能 薄片)用在包括光学器件、诸如液晶显示装置和有机EL显示装置之类的显示装置、半导 体器件和薄膜太阳能电池的各种器件中。这些功能膜已经通过诸如真空镀膜和等离子增强CVD之类的真空沉积技术由膜 成形(薄膜成形)制造而成。通过真空沉积技术在细长基板上连续沉积膜对于以高生产率的方式的有效膜形 成是优选的。本领域公知的用于进行这种膜形成的典型膜沉积装置是连续式...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。