技术编号:3366148
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及PVD假片的回收方法。 背景技术PVD(physical vapor d印osition),即物理气相沉积,用于表面薄膜材料的制备, 广泛用于机械和表面材料制备领域。对于PVD设备而言,每次开腔维护保养后,都需要跑一定数量的PVD假片使得它达到工艺的最佳状态;机台闲置一定时间后,工艺产品片之前也需要跑PVD假片防止第一片效应,所以PVD假片的使用次数是很高的。而铝合金溅射工艺由于对杂气特别敏感,跑PVD假片需要更长的时间,更大的功率,以保证完全除...
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