技术编号:3366647
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种形成有类金刚石碳薄膜的材料,以及用于制造该材料的方法,该 材料包含基材和形成于该基材表面上的类金刚石薄膜以及在它们之间的中间层。背景技术众所周知,类金刚石碳(diamond-like carbon,下面简称为DLC)薄膜由无定形碳 构成,其具有较高的硬度和较低的摩擦系数,从而已被用作在各种基材上的耐磨润滑膜。特 别地,DLC薄膜已被用作磁盘读取头、加工工具等的表面涂层。已知的用于形成DLC薄膜的 方法包括等离子体化学气相合成(CVD)法、溅射...
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