技术编号:3366728
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种装载室,特别是指一种可以凭借强化结构的强度而将结构上的变 形最小化,以避免因压差所产生的弯曲应力的用于化学气相沉积设备的装载室。背景技术平板显示器是已广泛地应用于电视产品、电脑萤幕、或是个人手提终端机上。而平 板显示器可以包括液晶显示器(liquid crystal display, LCD)、等离子显示面板(plasma display panel)、以及有机发光二极管(organic light emitting diode)。在这些平板...
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