多元复合透明导电薄膜的制备方法及其制备的薄膜和应用的制作方法技术资料下载

技术编号:3366866

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本发明属于半导体光电材料制备领域,具体涉及一种多元复合透明导电薄膜的制备方法及其制备的薄膜和应用。背景技术透明导电薄膜是把光学透明性能与导电性能复合在一体的光电材料,由于其具有优异的光电特性,成为近年来的研究热点和前沿课题。虽然氧化铟锡ITOandium-Tin Oxide)薄膜是目前综合光电性能优异、应用最为广泛的一种透明导电薄膜材料,但由于铟有毒,价格昂贵,稳定性差,存在铟扩散导致器件性能衰减等问题,促使人们力图寻找一种价格低廉且性能优异的ITO替换材...
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