技术编号:3367139
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种化学气相沉积装置,尤其涉及一种用于制造薄膜太阳能电池的等 离子体增强化学气相沉积装置。背景技术薄膜太阳能电池是在玻璃、金属或塑料等基板上沉积很薄(几微米至几十微米) 的光电材料形成的一种太阳能电池。薄膜太阳能电池弱光条件下仍可发电,其生产过程能 耗低,具备大幅度降低原料和制造成本的潜力,因此,市场对薄膜太阳能电池的需求正逐渐 增长,而薄膜太阳能电池技术更是成为近年来的研究热点,在公开号为CN1820358的中国 专利申请中就公开了一种薄膜太阳...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。