技术编号:3367948
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种真空镀膜设备,特别是涉及一种用于OLED有机材料镀膜用的真空镀膜设备及其镀膜工艺。背景技术作为一种自发光的电子元件,有机电致发光(OLED =Organic Light EmissionDiodes)显示照明元件的发光原理是在直流电场的作用下,借助有机半导体功能 材料将电能直接转化为光能的一种新型光电信息技术。作为自发光型的薄型显示元件或面 发光源而在显示器和照明领域受到关注的OLED元件具有这样的基本结构,即在基板上形 成第一电极,在该第一...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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