技术编号:3368082
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及机械,尤其涉及一种。背景技术在电路板制作过程中,当进行金属喷溅处理时,所有待处理基板均通过载板架上的夹具固定在载板架上,载板架将待处理基板带入喷溅腔进行喷溅处理。现有的夹具通常为面式弹片结构,夹具的一端通过螺母固定在载板架上,且通常能够围绕固定端的螺母进行转动。使用时,待处理基板被夹具未固定的一端夹设在夹具和载板架之间。进行金属喷溅处理时,由于载板架承载着待处理基板,载板架和待处理基板处于同一种环境,因此,在基板被喷溅上一层金属膜的同时,载板架及...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。