技术编号:3368178
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。背景本说明书涉及可用来对基材有效地进行抛光和平整化的抛光垫,具体涉及具有均匀的抛光性质的抛光垫。聚氨酯抛光垫是用于各种需要精密抛光的应用的主要抛光垫类型。这些聚氨酯抛光垫可以有效地抛光硅晶片、带图案的晶片、平板显示器和存储磁盘。具体来说,聚氨酯抛光垫为用来制造集成电路的大多数抛光操作提供机械完整性和耐化学腐蚀性。例如,聚氨酯抛光垫具有高抗撕裂强度;可避免在抛光过程中发生磨损问题的耐磨性;以及抗强酸性和强碱性抛光液侵蚀的稳定性。半导体的生产通常包括一些化学机...
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