技术编号:33682226
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及薄膜制备技术领域,具体涉及一种基于白光的膜厚监控系统。背景技术.光学监控系统是利用探测光线通过镀膜产品镀膜前后的变化而获知镀膜产品上薄膜光谱、厚度等信息的光学检测方法。.因为激光具有高亮度、方向性好等特点,现有的光学膜厚监控系统通常采用激光进行检测。例如申请号为.的中国专利,公开了一种光学薄膜成膜直接式光学监控系统,采用两组激光光路进行检测,以提高检测精度。.但激光检测方式存在以下缺陷:、激光波段范围狭窄,不同的激光只能检测与其波段范围对应的镀...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。