技术编号:3368689
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本文所公开的主题大体而言涉及薄膜沉积过程的领域,其中薄膜层(诸如半导体 材料层)沉积到基板上。更特定而言,该主题涉及在形成光伏(PV)模块中用于将光反应性 材料的薄膜层沉积到玻璃基板上的气相沉积设备和相关联的过程。背景技术薄膜光伏(PV)模块(也被称作“太阳能电池板”)基于与硫化镉(CdS)配对的碲 化镉(CdTe)作为光反应性部件,这种薄膜光伏(PV)模块在工业中被广泛地接受和关注。 CdTe是一种半导体材料,其特征特别适合于将太阳能(阳光)转换成电。举...
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