技术编号:3369081
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明专利真空纳米镀膜炉属于材料领域表面改性的真空离子物理镀膜(PVD)技术和设备。利用本发明专利设备,可在工件表面实现多种膜系的多层纳米膜复合镀层,用以改善材料表面的性能。背景技术 自上世纪八十年代以来,以TiN(氮化钛,俗称“钛金”)为代表的提高工具性能的离子镀技术与装备,作为材料表面的改性技术之一,已在制造业中得到了广泛的应用。我国在上世纪八十年代末,开发了相关的真空镀膜炉设备和技术,目前主要用在装饰行业方面,工具行业也得到了一定的应用。但随着制造业...
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