技术编号：3370031
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。PECVD镀膜专用硅片承载器本实用新型涉及太阳能电池硅片PECVD镀膜用的一种硅片承载器。背景技术PECVD是太阳能电池片等离子体化学沉积镀膜工艺的简称，在太阳能电池的生产 过程中，对硅片镀膜是提高太阳能电池吸收效率的关键技术，根据硅片的光电转换发电原 理，光线照射到硅片上会产生反射，硅片的光学损失会使太阳能电池的输出低于理想值，硅 片镀膜技术是提高太阳能电池吸收效率的成熟技术，已在太阳能电池工业化生产中得到广 泛应用，通过PECVD能在硅片表面形成一层减...
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