技术编号：3370146
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种槽式多晶硅湿法制绒设备，进一步是指半导体晶体硅及太阳 能电池制造中的多晶硅槽式湿法制绒处理设备。背景技术在半导体硅和太阳能电池制造中，槽式湿法制绒工艺是对晶体硅片表面进行湿法 蚀刻，形成微沟、绒面，降低硅片表面的反射率，从而使太阳光在硅片表面进行多次反射，以 提高光的利用率。在太阳能晶体硅电池的制备工艺中，槽式湿法制绒工艺是关系到硅太阳 能电池表面光吸收的重要部分，也是提高太阳能转化效率的重要途径之一。现在市场上超过一半的多晶制绒设备都是...
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