技术编号：3370974
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及冷却技术，特别是涉及一种用于真空镀膜的红外光学膜厚监控系 统等红外光纤系统的红外光纤冷却技术。背景技术真空镀膜设备中的光学膜厚监控系统以往通常使用光路来传递光信号。然而光路 系统有着结构复杂、占用空间大、稳定性差、光斑大等缺点，不利于真空镀膜设备的高性能 化。为克服以上缺点，真空镀膜设备上开始采用光纤来传递光信号。真空镀膜中很多成膜 工艺需要在高温下进行，因此要求光纤能够长时间在成膜温度下稳定工作。当真空镀膜的成膜温度达到300°C时，如果没...
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