技术编号：3371026
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种探针研磨装置。 背景技术随着我国集成电路产业链迅猛发展，作为该产业链中的重要一环一芯片测试设备 在市场的份额不断扩大，芯片测试探针卡的需求量也快速增加。探针卡作为集成电路工艺 领域重要器件，被用在集成电路尚未封装之前，对半导体晶圆上电阻、电容、晶体管等器件 的电性参数进行测量。探针卡一般包括与晶片上的电极接触的探针和向该探针发送检测信 号的电路板，在探针与电极接触的状态下通过电路板向探针发送电信号进而检测晶圆上的 集成电路。通过探针卡检测...
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