技术编号:3371411
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种太阳能电池技术,确切的说一种硅基薄膜太阳能电池沉积夹具。背景技术目前,硅基薄膜太阳能电池,采用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)获取单 结或多结的光电转换P-I-N膜层,在薄膜太阳能电池制造行业通用这种射频电容耦合平行 电极板反应室。通常把电极板反应室所进行等离子体化学气相沉积的装置称为“沉积夹具” 或简称为“夹具”。该夹具被广泛应用于非晶硅、非晶硅锗、碳化硅、氮化硅、氧化硅等材料薄 膜的大面积沉积。硅基薄膜太阳能电池是太阳能行业的...
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