技术编号:3371513
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开一种太阳能电池技术,确切的说一种由甚高频电源(27. 12MHz 100MHz)驱动的硅基薄膜太阳能电池的沉积盒。背景技术目前,硅基薄膜太阳能电池,采用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)获取 单结或多结的光电转换P-I-N膜层,在薄膜太阳能电池制造行业通用这种射频电容耦合 平行电极板反应室。由电极板组件构成电极板阵列在反应室内进行等离子体化学气相沉 积。射频电容耦合平行板电极反应室广泛应用于非晶硅、非晶硅锗、碳化硅、氮化硅、氧化 硅...
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