技术编号:3373513
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种硅片的制作机构,尤其是涉及一种用于制作硅片的花篮机 构。背景技术利用低浓度碱溶液对晶体硅在不同晶体取向上具有不同腐蚀速率的各向异性腐 蚀特性,在硅片表面腐蚀形成角锥体密布的表面形貌。当光入射到一定角度的斜面,光会 反射到另一角度的斜面,形成二次或者多次吸收,从而增加吸收率。中国专利公开了一种12 英寸硅片腐蚀机上装硅片用花篮(授权公告号CN 201309966Y),其包括以下几部分正四 边形的花篮主体;位于花篮主体上方、并与花蓝主体相接的...
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