技术编号:3374004
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例一般地涉及沉积光电转换模块例如薄膜太阳能电池的层。特别地,本发明的实施例涉及双结太阳能电池或具有多个p-i-n结的太阳能电池的层堆叠。具体而言,本发明的实施例涉及薄膜太阳能电池的层堆叠,以及制造适用于薄膜太阳能电池的层堆叠的方法以及用于太阳能电池的前体。背景技术晶硅太阳能电池和薄膜太阳能电池是太阳能电池的两种类型。晶硅太阳能电池通常使用单晶硅衬底(即纯硅的单晶衬底)或多晶硅衬底(即多晶或多晶硅)。其他的膜层沉积在硅衬底上以增强光的捕获、形成电...
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