技术编号:3374120
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种在卷绕镀膜机上在线快速监测残留气体的方法,涉及真空镀膜领域与气体分析领域。背景技术真空卷绕镀膜技术就是在真空室内通过热蒸发或者磁控溅射等方法在卷料基材表面制备一层或者多层具有一定性能的薄膜的技术。真空卷绕镀膜设备主要技术特征是 其一,被镀基材为柔性基材,即具有可卷绕性;其二,镀膜过程具有连续性,即在一个工作周期内镀膜是连续进行的;其三,镀膜过程在高真空环境中进行。所以真空卷绕镀膜设备的基本结构必须有卷绕转动,有卷材(基材)的放卷和收卷。在放...
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