技术编号:33742031
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本公开涉及半导体集成电路晶圆测试领域,具体涉及一种用于集成电路晶圆测试的转接组件。背景技术.在集成电路晶圆测试过程中,探针台通常支持方形和圆形的探针卡,由于两种形状的针卡结构和形状不一样,在实际使用时,需要更换探针台上固定部件(card hold)以满足不同针卡的使用。在切换过程通常费时费力,而且可能由于更换人员的不熟练,导致需要多次尝试。此外,现有部分探针台只支持圆形的探针卡,如果探针卡为方形的针卡,则没办法在这类探针台上进行测试。此外,方形探针卡通常使用的是cable进行连接,cabl...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。