技术编号:3374520
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于一种具有警示功能的溅镀靶材,尤指一种利用警示体发出警示信号的溅镀靶材。背景技术物理气相沉积技术(Physical Vapor Deposition, PVD)通过物理方式将原子或分子沉积于基板表面上,借此在金属材料、合金材料、陶瓷材料或晶圆基板表面上形成一薄膜。于物理气相沉积技术中,可区分为蒸镀(evaporation)或派镀(sputtering)两种沉积方式。其中,派镀沉积法利用辉光放电(glow discharge)效应,将惰性气体电离并且...
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