技术编号:3374876
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种真空蒸镀用烧结体。更具体来说,涉及一种在离子镀 法等真空蒸镀法中使用的透明导电性氧化物材料。背景技术近年来,显示装置的发展异常显著,液晶显示装置(LCD)、电致发 光显示装置(EL)或者场发射显示器(FED)等被搭载于个人电脑、电视、 携带电话等中。作为此种显示装置中所用的透明电极,如非专利文献1中所公布的那 样,利用溅射法、离子镀法或者蒸镀法成膜的铟锡氧化物(以下有时简称 为ITO)占据主流。该ITO由规定量的氧化铟、氧化锡构成,除了透明性...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。