技术编号:3375366
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及以α型晶体结构为主体的氧化铝被膜的制造方法、α型晶体结构为主体的氧化铝被膜和含有氧化铝被膜的叠层被膜、以氧化铝被膜或叠层被膜镀覆的构件及其制造方法,另外还涉及用于以上制造中的物理蒸镀装置。具体地说,涉及能够将切削工具、滑动构件、模具等之类的耐磨构件上镀覆的耐磨性及耐热性优良的α型晶体结构为主体的氧化铝被膜在不损害上述切削工具及滑动构件等基材特性的低温条件下形成的有用的制造方法、获得的α型晶体结构为主体的氧化铝被膜和含有α型晶体结构为主体的氧化铝被...
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