技术编号：3375417
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超硬工具的微细、精密制造，具体涉及一种单晶硅、陶瓷、玻璃、硬质合金等硬脆性工件的微沟槽或微锥塔阵列功能表面的机械制造技术。背景技术采用微纳米级的沟槽及锥塔阵列结构表面代替零部件的传统光滑表面，可以产生更多、更新的功能特性。但是，微纳结构表面的微细加工主要依赖于光、电子束、离子束、化学腐蚀等微细加工方法。目前，已经发现这些蚀刻加工方法的效率极低，生产周期很长，且伴随有腐蚀液难处理、危险气体及射频功率等环境问题。采用金属基金刚石砂轮工具可以对硬脆性材...
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