技术编号:3375647
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。,发光装置以及含有有机化合物层的制造方法本发明涉及具有一种膜形成系统的,其中膜形成系统使用能够通过气相淀积形成膜的材料(下文中称作蒸发材料),本发明同时涉及使用该以含有有机化合物的层为发光层的发光装置及其制造方法。确切地说,本发明涉及一种膜的制作方法(气相淀积方法)及其,该制作方法通过蒸发提供在衬底对面的多个蒸发源的蒸发材料进行膜的形成。背景技术 近几年,对于具有EL元件作为自发光发光元件的发光装置的研究非常活跃。发光装置又称有机EL显示器或有机发光二极管...
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