技术编号:3375832
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜太阳能电池制造工艺设备,具体是指一种用于太阳能电池薄膜沉积的介质气体辅助气相输运沉积装置。背景技术碲化镉薄膜电池由于其制备工艺相对简单、生产效率高、组件效率高等特点,使其成为一种具有潜力的应用薄膜电池之一。作为核心的Pn结来说,其制备技术有很多种。对于其P-CdTe采用的制备工艺有真空蒸发、近空间升华、气相输运、物理气相沉积、磁控溅射、电子化学沉积、金属有机气相沉积、热喷涂和丝网印刷沉积等。前三种方法为目前主流方法,作为实验研究及产业化考虑的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。