技术编号:3376173
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电子束蒸镀的装置及方法。 背景技术电子束蒸镀技术采用高能电子束来加热待沉积块体材料并使其蒸发,然后沉积到衬底表面形成膜层,具有纯度高、成膜速度快等优点,在光学膜层、热防护涂层、防蚀涂层制备方面具有广泛的应用前景。电子束蒸镀技术的一个问题是涂层结合力低,由于电子束蒸镀产生的蒸发原子能量一般为0. IeV左右,蒸发原子沉积在衬底表面时,由于原子能量低,低温沉积时膜层结合力较差,致密性也较低。为了提高电子束蒸镀时膜层与基体之间的结合力,国外目前广泛采用...
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